Химические войска впервые появились во время 1-й мировой войны, когда были применены отравляющие вещества и огнемёты. Они осуществляли газобаллонные атаки, газомётные обстрелы и огнеметания.

В РККА химические войска стали складываться в конце 1918 года. 13 ноября 1918 года, приказом Реввоенсовета Республики № 220 была создана Химическая служба РККА. К концу 1920-х годов химические подразделения имелись во всех стрелковых и кавалерийских дивизиях и бригадах. 1923 году в штаты стрелковых полков введены противогазовые команды.

1924-1925 годах, в ходе военной реформы, заложены основы современных войск и службы, сделан важный шаг к созданию централизованного руководства ими, положено начало плановой военно-химической подготовке в частях.

В Великую Отечественную войну в составе химических войск имелись: технические бригады (для постановки дымов и маскировки крупных объектов), бригады, батальоны и роты противохимической защиты, огнемётные батальоны и роты, базы, склады и т. д. Во время войны советские химические войска поддерживали высокую готовность противохимической защиты частей и соединений армии на случай применения противником химического оружия, уничтожали врага с помощью огнемётов и осуществляли дымовую маскировку войск.

С появлением ядерного и биологического оружия объём задач химических войск резко возрос и стал включать также защиту от радиоактивных и бактериальных средств.

В 1992 году химические войска в вооруженных силах Российской Федерации переименованы в войска РХБЗ (радиационной, химической и биологической защиты).